日本shibaura擴散油真空泵ESV系列（小型）

產品名稱: 日本shibaura擴散油真空泵ESV系列（小型）

產品型號:

產品特點: 日本shibaura擴散油真空泵ESV系列（小型）
ESV系列的功能
該系列采用ESV-6或以下的環形加熱器和ESV-8或以上的內部熱式護套加熱器，以從超高真空區域到高/中/真空區域獲得穩定的壓力。防止因撞油而引起的壓力波動。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排量大和臨界背壓高的優點。它還需要較少的液壓油。

日本shibaura擴散油真空泵ESV系列（小型） 的詳細介紹

日本shibaura擴散油真空泵ESV系列（小型）

使用例

各種真空爐
各種實驗的排氣裝置
管材制造設備
各種成膜設備
電子束焊接
電子顯微鏡

ESV系列陣容

模型		單元	ESV-3	ESV-4	ESV-6
大抽速		升/秒	380	580	1,200
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?0.4
臨界背壓		帕	40	40	40
大排量		帕升/秒	93	190	260
用油			高腰F-4	高腰F-4	高腰F-4
油量		大號	0.12	0.18	0.3
墊片			維通	維通	維通
加熱器	格式		云母帶	云母帶	云母帶
	電壓，相	ACV，相	200，1	200，1	200，1
	格式	千瓦	0.55	0.75	1.2
錄取			VG80	VG100	VG150
輔助口			VG25	VG25	VG50
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	1.1	1.5	2
輔助泵			DRP-360Ⅲ或RP-360Z	DRP-800或RP-800ZⅡ	DRP-800或RP-800ZⅡ
擋板格式			3C（雪佛龍）	4C（雪佛龍）	6C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	165	240	450
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	1.1	1.5	2
機油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-8
材料	圓筒		不銹	不銹	不銹
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	8.5	11	20

模型		單元	ESV-8	ESV-10	ESV-12
大抽速		升/秒	2,000	3,000	4,500
極限壓力		帕	10 ^-6	10 ^-6	10 ^-6
工作壓力范圍		帕	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-6?3.3 ×10 ^-1	10 ^-5?0.4
臨界背壓		帕	46	40	37
大排量		帕升/秒	400	460	800
用油			高腰F-4	高腰F-4	獅子A
油量		大號	0.6	1個	1個
墊片			維通	維通	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200，1	200、3	200、3
	格式	千瓦	1.6	2.5	3.2
錄取			VG200	VG250	VG300
輔助口			VG50	VG50	VG80
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	2.5	五	6
輔助泵			DRP-1500或RP-1200ZⅡ	DRP-1500或RP-1200ZⅡ	RP-1200ZII x 2
擋板格式			8C（雪佛龍）	10C（雪佛龍）	12C（雪佛龍）
帶擋板的抽速		升/秒	800	1,200	1,800
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	2.5	五	6
機油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-8	10 ^-7
材料	圓筒		不銹	不銹	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	二十五	45	55

[ESV-3]
帶擋板和油
[ESV-4]
帶擋板和油

[ESV-6]
帶擋板和油
[ESV-8]
帶擋板和油

[ESV-10]
帶擋板和油
[ESV-12]（定做）
帶擋板和油

*規格和建議零售價如有變更，恕不另行通知。

預防措施

我們的油旋轉真空泵是根據以下用途設計和制造的。
（1）進氣類型空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）進氣溫度5-40 ℃
（3）環境溫度5- 40°C
（4）常壓10 ^-6至0.4Pa
*如果與上述用法不同，請與我們聯系，因為這可能會導致泵故障。
排出腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）時，可能會發生油質劣化或未達到極限壓力的零件腐蝕，從而延長泵的使用壽命請注意，將會縮短。
本目錄中的性能表會根據我們的測試標準進行測量測試和檢查。
因此，它與設備內置的性能值不同。
ESV-12或更高版本的油擴散真空泵涂有耐熱銀粉。
擴散油當
使用標準擴散油以外的擴散油時，擴散油的
比熱可能會不同，因此可能無法發揮出油擴散真空泵的原始性能。
泵冷卻將
油擴散真空泵的冷卻水溫度作為參考，在5至25°C的范圍內。
如果冷卻水的溫度過高，將無法有效地冷卻以蒸汽噴射方式噴射到泵內壁的機油，這會影響泵的性能，例如增加機油的反向流量。
另外，為了保證冷卻水的質量，請使用制量醉高的水。
如果使用水質較差的水，則泵冷卻導管的內部將被堵塞，并且異常高的溫度將引起諸如泵性能差和冷卻導管焊接不冷卻之類的問題。
作為一種措施，當冷卻管內部發生堵塞，且冷卻水不流動時，請使用市售的管道清潔劑等，并清除內部堵塞。
如果上述措施仍不能解決問題，則需要更換冷卻導管，請與我們聯系。
*在寒冷地區使用后請除去水。它可能會凍結并損壞。
*如果還有其他疑問，請與我們聯系。