日本富士電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列

壽命長，價(jià)格低，性能高，可進(jìn)行各種開閉操作的蝶閥。

1. 壽命長一百萬次
2. 價(jià)格低廉自動(dòng)壓力控制可以低價(jià)進(jìn)行。
3. 高性能高性能伺服電機(jī)，伺服放大器，采用新的驅(qū)動(dòng)機(jī)制
4. 可以實(shí)現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級位置控制和自動(dòng)壓力控制。
   還可以通過閥門O形圈來支持?jǐn)Q緊余量O規(guī)格，從而實(shí)現(xiàn)小的電導(dǎo)。
5. 它的小直徑為20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸的O形圈，可以將其*閉合。）

特征

• 低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是于傳導(dǎo)控制的電動(dòng)蝶閥，沒有閥體O形圈。
• 三菱電機(jī)制造的多功能伺服電動(dòng)機(jī)用作閥體的驅(qū)動(dòng)源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關(guān)閉或*打開。
• 閥門的開口面積可以分多個(gè)階段進(jìn)行更改，可用于多種用途，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣導(dǎo)度。
• 可以使用計(jì)算機(jī)軟件或伺服放大器本身預(yù)先設(shè)置中間停止位置，多可以存儲(chǔ)13個(gè)位置。
• 通過從PLC等主機(jī)系統(tǒng)發(fā)送信號，它將以良好的再現(xiàn)性停在設(shè)定位置。
• 通過將可選的雙重自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合，可以進(jìn)行包括自動(dòng)壓力控制在內(nèi)的各種控制。

MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格

*本規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

本頁面的內(nèi)容

• 系統(tǒng)配置
• 附伺服放大器尺寸圖
• 關(guān)于非標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)支持
• MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖
• MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖
• MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖
• MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖

系統(tǒng)配置

*除閥單元（閥體，伺服電機(jī)，伺服放大器）中包含的組件外，它是一個(gè)選件。
*有關(guān)可選項(xiàng)目，請參閱隨附的“多位置選項(xiàng)列表”。
*注）1.泄漏規(guī)格（無閥體密封機(jī)構(gòu)）

附伺服放大器尺寸圖

關(guān)于非標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)支持

我們還將向您咨詢有關(guān)更換適合您設(shè)備使用環(huán)境的電機(jī)（例如標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)以外的伺服電機(jī)）的信息。

*也可以通過連接可選的雙壓力控制控制器用作APC。

MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖

注1.以上是符合JIS B2290真空裝置法蘭附件維護(hù)法蘭的法蘭。

MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖

注1.以上是符合ISO1609真空技術(shù)-法蘭尺寸的法蘭。

MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖

注1.以上是符合ISO / TS3669-2真空技術(shù)的法蘭-耐用法蘭-第2部分：刀口法蘭的尺寸。
注2. CF40沒有檢漏槽。

MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖

注1.對于NW25尺寸，可以使用可以*閉合的*閉合類型。
注意2.請使用我們的多夾鉗進(jìn)行安裝。如果您使用我們公司以外的其他夾具，則根據(jù)夾具的形狀，可能未安裝閥門。

M4-ARJ通用選項(xiàng)

* MBV-ADⅡ-M4-ARJ / MBV-LDⅡ-M4-ARJ / MBV-SDⅡ-M4-ARJ通用選項(xiàng)設(shè)置伺服放大器上的位置并將閥閥體操作到任何位置。

• 1. 1。ENC電纜（負(fù)載抽屜/抗負(fù)載抽屜）（注1）

  用于連接閥和伺服放大器的電纜。

  格式	長（L）
  ENC電纜（負(fù)載側(cè)）2m_4123500	2m
  ENC電纜（負(fù)載側(cè)）5m_4123501	5m
  ENC電纜（負(fù)載側(cè)）10m_4123502	10m
  ENC電纜（非負(fù)載側(cè)）2m_4123505	2m
  ENC電纜（非負(fù)載側(cè)）5m_4123506	5m
  ENC電纜（非負(fù)載側(cè)）10m_4123507	10m

  

  注意1.（裝載抽屜/防裝載抽屜）

• 2。MOT電源線（負(fù)載抽屜/抗負(fù)載抽屜）（注1）

  用于連接閥和伺服放大器的電纜。

  格式	長（L）
  MOT電纜（負(fù)載側(cè)）2m_4123520	2m
  MOT電纜（負(fù)載側(cè)）5m_4123521	5m
  MOT電纜（負(fù)載側(cè)）10m_4123522	10m
  MOT電纜（非負(fù)載側(cè)）2m_4123525	2m
  MOT電纜（非負(fù)載側(cè)）5m_4123526	5m
  MOT電纜（非負(fù)載側(cè)）10m_4123527	10m

  

  *不是屏蔽電纜。

• 3. 3。電磁制動(dòng)電纜（負(fù)載抽屜/抗負(fù)載抽屜）（注1）

  帶有電磁制動(dòng)器的伺服電機(jī)電纜。

  格式	長（L）
  BL電纜（負(fù)載側(cè)）2m_4123540	2m
  BL電纜（負(fù)載側(cè)）5m_4123541	5m
  BL電纜（負(fù)載側(cè)）10m_4123542	10m
  BL電纜（非負(fù)載側(cè)）2m_4123545	2m
  BL電纜（非負(fù)載側(cè)）5m_4123546	5m
  BL電纜（非負(fù)載側(cè)）10m_4123547	10m

  

  *不是屏蔽電纜。

• 4。-1 REMOTE I / FM電纜（CN1為50P）（注2）

  用于遠(yuǎn)程輸入/輸出到伺服放大器的電纜。

  格式	長（L）
  遠(yuǎn)程I / FM電纜_4123340（1m）	1m
  遠(yuǎn)程I / FM電纜_4123341（2m）	2m
  遠(yuǎn)程I / FM電纜_4123342（3m）	3m
  遠(yuǎn)程I / FM電纜_4123343（4m）	4m
  遠(yuǎn)程I / FM電纜_4123344（5m）	5m

  

• 4。-2 REMOTE中繼端子臺(tái)I / FM電纜（CN1為50P），中繼端子臺(tái)（MR-TB50）（注2）

  繼電器電纜和端子塊，用于遠(yuǎn)程輸入/輸出到伺服放大器。

  格式	長（L）
  MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350	0.5米
  MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351	1m
  繼電器接線盒MR-TB50_4123352（50P）

  

  伺服放大器連接器中繼端子連接器

  

  繼電器接線端子50P

• 5，伺服支持軟件

  用于設(shè)置伺服放大器上位置的軟件。

  格式	語言
  SW1 DNC-MRC2-J_4123560	日文版
  SW1 DNC-MRC2-E_4123561	英文版

  

• 6。通訊電纜

  用于連接PC和伺服放大器的USB電纜。

  格式	長（L）
  MR-J3USBCBL3M_4123562	3m

  

  伺服放大器mini-B連接器PC A連接器

注2）REMOTE I / FM電纜要求4-1或4-2。

 日本富士電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列