日本shibaura芝浦電子電機直連型低噪羅茨泵

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產品名稱: 日本shibaura芝浦電子電機直連型低噪羅茨泵

產品型號: TMB系列

產品特點: 日本shibaura芝浦電子電機直連型低噪羅茨泵
由于使用電機直接連接型，因此幾乎不會產生灰塵。
減少振動和噪音
易于維護和檢查的結構
逆變器控制（可選）可實現大氣壓下的排氣

日本shibaura芝浦電子電機直連型低噪羅茨泵 的詳細介紹

日本shibaura芝浦電子電機直連型低噪羅茨泵

TMB系列陣容

模型	類型	單位單位	TMB-302	TMB-600
設計排氣速度	位移位移	50 Hz，m ³ /小時	250	500
設計排氣速度	位移位移	60 Hz，m ³ /小時	300	600
達到壓力	極限壓力	帕	10 ^-2	10 ^-2
吸入側臨界壓力	大工作壓力	50 Hz，m ³ /小時	2.7 2.7	2.7 2.7
吸入側臨界壓力	大工作壓力	60 Hz，m ³ /小時	2	2
所需馬達	發動機	V，相，千瓦	200、3、0.75	200、3、2.2
轉速	轉速	50 Hz，m ³ /小時	3,000	1,500
轉速	轉速	60 Hz，m ³ /小時	3,600	1,800
進氣口	入口		VF-80	VF-80
排氣口	出口		VF-80	VF-80
用油	泵油		露臺油S46	露臺油S46
油量	油容量	大號	1個	2.8
大眾	大眾	公斤	93	242
尺寸（寬x深x高）	尺寸尺寸	毫米	708 x 320 x 250	963 x 416 x 350
冷卻方式	冷卻系統		風冷	風冷
冷卻水量	冷卻水	升/分鐘	---	---
輔助泵	后備泵		DRP-1500，RP-1200ZⅡ	DRP-1500

模型	類型	單位單位	TMB-1500	TMB-2500
設計排氣速度	位移位移	50 Hz，m ³ /小時	1,350	2,070
設計排氣速度	位移位移	60 Hz，m ³ /小時	1,630	2,500
達到壓力	極限壓力	帕	10 ^-2	10 ^-2
吸入側臨界壓力	大工作壓力	50 Hz，m ³ /小時	2	2
吸入側臨界壓力	大工作壓力	60 Hz，m ³ /小時	1.3 1.3	1.3 1.3
所需馬達	發動機	V，相，千瓦	200、3、3.7	200、3、5.5
轉速	轉速	50 Hz，m ³ /小時	1,500	1,500
轉速	轉速	60 Hz，m ³ /小時	1,800	1,800
進氣口	入口		VF-150	VF-200
排氣口	出口		VF-100	VF-100
用油	泵油		露臺油S46	露臺油S46
油量	油容量	大號	4.2	5.6
大眾	大眾	公斤	490	664
尺寸（寬x深x高）	尺寸尺寸	毫米	1,228 x 520 x 440	1,359 x 580 x 495
冷卻方式	冷卻系統		水冷	水冷
冷卻水量	冷卻水	升/分鐘	---	---
輔助泵	后備泵		KP-4500BG	KP-7500BG

[TMB-302]
[TMB-600]

[TMB-1500]
[TMB-2500]

*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

TMB系列性能曲線

*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

筆記

我們的羅茨真空泵是根據以下規格設計和制造的。
（1）吸入氣體的種類空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Kr，Xe，Rn ? ?）
（2）進氣溫度5-40℃
（3）環境溫度
5-40 ℃ （4）常壓泵壓力約1.3k-10 ^-1 Pa
（5）其他切勿施加大氣壓。切勿吸入水等液體。
*如果使用條件與上述條件不同，請與我們聯系。
在以下應用中使用時，標準真空泵會使油和腐蝕部件變質，導致排氣性能下降，泵體壽命極短。
（1）腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₃，HBr ₄ ...）[示例]離子注入，蝕刻，CVD等。
*即使是特殊規格的真空泵，也具有易燃易爆性不要吸入強物質。
（2）起停次數多時