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產品資料
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半導體領域用高精度質量流量控制器流量計

產品名稱: 半導體領域用高精度質量流量控制器流量計
產品型號: FCST 1000L系列
產品特點: 半導體領域用高精度質量流量控制器流量計
可在半導體、太陽能電池板、燃料電池、一般產業(yè)等廣泛領域使用。
●高速響應[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內。
●高精度：±1.0％F.S以內。

半導體領域用高精度質量流量控制器流量計 的詳細介紹

半導體領域用高精度質量流量控制器流量計

半導體領域用高精度質量流量控制器流量計

可在半導體、太陽能電池板、燃料電池、一般產業(yè)等廣泛領域使用。
●高速響應[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內。
●高精度：±1.0％F.S以內。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標準：符合RoHS規(guī)定，是對地球環(huán)境友好的產品。

仕様
型號:大容量流量控制器FCST1005（M）升FCST1030（M）升FCST1050（M）升
型號：質量流量計FCSTM1005（M）升FCSTM1030（M）升FCSTM1050（M）升
流量（N2換算流量）10,20,30,50,
100，200，300，500SCCM
1，2，3，5SLM		10,20,30SLM50SLM
閥門動作NC：普通關閉
制御流量範囲2～100％ F.S
流量精度±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃）±2%F.S（同左）
流量設定信號0.1～5VDC
流量出力信號0～5VDC
再現(xiàn)性±0.2％ F.S
応答時間≦1秒≦2秒
必要差圧50～300KPa50～300kPa(6～10SLM)
100～300KPa（11～30SLM）		200～300KPa
最大動作圧力400KPa（克）
耐圧力1MPa(G)
使用保証溫度範囲5～50℃
外部泄漏金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他
取付姿勢未指定（自由）
供給電源電圧、消費電流±15VDC：25mA、-15VDC：180mA
接氣部材質SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠）
密封部件材質金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠
執(zhí)行器方式螺線管執(zhí)行器
表面処理機械加工精整
接続継手1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション）

可在半導體、太陽能電池板、燃料電池、一般產業(yè)等廣泛領域使用。
●高速響應[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內。
●高精度：±1.0％F.S以內。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標準：符合RoHS規(guī)定，是對地球環(huán)境友好的產品。

仕様
型號:大容量流量控制器FCST1005（M）升FCST1030（M）升FCST1050（M）升
型號：質量流量計FCSTM1005（M）升FCSTM1030（M）升FCSTM1050（M）升
流量（N2換算流量）10,20,30,50,
100，200，300，500SCCM
1，2，3，5SLM		10,20,30SLM50SLM
閥門動作NC：普通關閉
制御流量範囲2～100％ F.S
流量精度±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃）±2%F.S（同左）
流量設定信號0.1～5VDC
流量出力信號0～5VDC
再現(xiàn)性±0.2％ F.S
応答時間≦1秒≦2秒
必要差圧50～300KPa50～300kPa(6～10SLM)
100～300KPa（11～30SLM）		200～300KPa
最大動作圧力400KPa（克）
耐圧力1MPa(G)
使用保証溫度範囲5～50℃
外部泄漏金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他
取付姿勢未指定（自由）
供給電源電圧、消費電流±15VDC：25mA、-15VDC：180mA
接氣部材質SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠）
密封部件材質金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠
執(zhí)行器方式螺線管執(zhí)行器
表面処理機械加工精整
接続継手1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション）

可在半導體、太陽能電池板、燃料電池、一般產業(yè)等廣泛領域使用。
●高速響應[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內。
●高精度：±1.0％F.S以內。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標準：符合RoHS規(guī)定，是對地球環(huán)境友好的產品。

仕様
型號:大容量流量控制器FCST1005（M）升FCST1030（M）升FCST1050（M）升
型號：質量流量計FCSTM1005（M）升FCSTM1030（M）升FCSTM1050（M）升
流量（N2換算流量）10,20,30,50,
100，200，300，500SCCM
1，2，3，5SLM		10,20,30SLM50SLM
閥門動作NC：普通關閉
制御流量範囲2～100％ F.S
流量精度±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃）±2%F.S（同左）
流量設定信號0.1～5VDC
流量出力信號0～5VDC
再現(xiàn)性±0.2％ F.S
応答時間≦1秒≦2秒
必要差圧50～300KPa50～300kPa(6～10SLM)
100～300KPa（11～30SLM）		200～300KPa
最大動作圧力400KPa（克）
耐圧力1MPa(G)
使用保証溫度範囲5～50℃
外部泄漏金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他
取付姿勢未指定（自由）
供給電源電圧、消費電流±15VDC：25mA、-15VDC：180mA
接氣部材質SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠）
密封部件材質金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠
執(zhí)行器方式螺線管執(zhí)行器
表面処理機械加工精整
接続継手1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション）


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