精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器

精密氣體控制用快速響應(yīng)型質(zhì)量流量控制器

1. 高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。
2. 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制。
3. 多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
4. 多氣體/多量程功能：用戶可通過(guò)軟件更改氣體類型和滿量程設(shè)置，無(wú)需更換設(shè)備，提升靈活性。
5. 高可靠性設(shè)計(jì)：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。
6. 支持多種通信模式：即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
7. 高精度和高速響應(yīng)：提供高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）和高速響應(yīng)。

8. 多氣體/多量程功能：可降低制程成本。

1. 高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。
2. 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制

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3. 多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。
4. 多氣體/多量程功能：用戶可通過(guò)軟件更改氣體類型和滿量程設(shè)置，無(wú)需更換設(shè)備，提升靈活性。
5. 高可靠性設(shè)計(jì)：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容

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6. 支持多種通信模式：即數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®

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7. 高精度和高速響應(yīng)：提供高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）和高速響應(yīng)

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8. 多氣體/多量程功能：可降低制程成本

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