產(chǎn)品資料
光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵
產(chǎn)品名稱: 光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵
產(chǎn)品型號: TRV系列
產(chǎn)品特點: 光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機型，可全程無油運行，滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求 。核心特點如下：結(jié)構(gòu)多級羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔立式布局，占地 ≤ 0.2 m²，可穿墻安裝，維護(hù)面僅正面一側(cè) 光學(xué)行業(yè)對應(yīng)性能單臺抽速 180-1 200 m³
光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵 的詳細(xì)介紹
光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵
光學(xué)工業(yè)適用多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵
日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機型，可全程無油運行，滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求。核心特點如下：
- 結(jié)構(gòu)
- 多級羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
- 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護(hù)面僅正面一側(cè)
- 光學(xué)行業(yè)對應(yīng)性能
- 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
- 內(nèi)置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學(xué)元件水痕
- 轉(zhuǎn)子經(jīng)動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學(xué)車間內(nèi)
- 材質(zhì)與潔凈度
- 過流部標(biāo)準(zhǔn)陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
- 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
- 典型光學(xué)工藝
- 精密光學(xué)鍍膜機（電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD）粗抽與維持
- 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
- 光學(xué)塑料顆粒干燥前級泵，防止油分子反擴散造成黃變
日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯(lián)式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學(xué)工業(yè)適用機型，可全程無油運行，滿足光學(xué)鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求。核心特點如下：
- 結(jié)構(gòu)
- 多級羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
- 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護(hù)面僅正面一側(cè)
- 光學(xué)行業(yè)對應(yīng)性能
- 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
- 內(nèi)置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學(xué)元件水痕
- 轉(zhuǎn)子經(jīng)動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學(xué)車間內(nèi)
- 材質(zhì)與潔凈度
- 過流部標(biāo)準(zhǔn)陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
- 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
- 典型光學(xué)工藝
- 精密光學(xué)鍍膜機（電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD）粗抽與維持
- 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
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