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產品資料
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半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器

產品名稱: 半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
產品型號: TFH-1305
產品特點: 半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
特藥液 · 氟龍加熱 · 半導體級 · 真空/大氣雙模式
0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命

半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器 的詳細介紹

半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器

半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器

特藥液 · 氟龍加熱 · 半導體級 · 真空/大氣雙模式
0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命

一、產品定位

  • 半導體領域特藥液:HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
  • 氟龍加熱器:PTFE + PFA,無顆粒,Class 100 兼容
  • 真空/大氣雙模式:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C
  • TFH-1305:0-180 °C,±0.1 °C,真空 ≤1×10?? Pa,5 年壽命

二、核心技術參數(TFH-1305)

表格
復制
項目參數
原理氟龍加熱(PTFE + PFA)
溫度范圍0 – 180 °C(全范圍)
精度±0.1 °C(±0.1 °C,PID)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置泵)
接觸材料PTFE + PFA(無顆粒,Class 100)
真空接口NW16(可轉 NW25/NW40)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量200×150×45 mm,1.9 kg
壽命5 年(連續運行)

三、功能亮點

  1. 0-180 °C 全溫度:氟龍加熱,全溫度精度 ±0.1 °C
  2. ±0.1 °C 超高精度:PID 閉環,±0.1 °C 超高精度
  3. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
  4. PTFE + PFA 高清潔:無顆粒,Class 100 高清潔
  5. 1.9 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
  6. 5 年壽命:氟龍無磨損,5 年免維護

四、典型應用系統

復制
半導體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│               │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│               │└─ 回大氣 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C 精度
  • RS-485 實時輸出,PLC 閉環控制

五、實測數據(半導體驗證)

  • 真空:1×10?? Pa,25 ℃
  • TFH-1305:
    • 溫度 180 °C(±0.1 °C)
    • 真空度 ≤ 1×10?? Pa(全范圍)
    • 壽命 5 年(連續運行)

六、選型與配件

表格
復制
件號說明
TFH-1305-STD標準型(NW16)
TFH-1305-PIDPID 控制器(可選)
TFH-1305-PT100PT100 傳感器(標準)
TFH-1305-RS485RS-485 輸出(標準)

七、維護與可靠性

  • 氟龍:5 年壽命,免維護
  • PT100:年漂移 < 0.1 %,無需校準

一、產品定位

  • 半導體領域特藥液:HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
  • 氟龍加熱器:PTFE + PFA,無顆粒,Class 100 兼容
  • 真空/大氣雙模式:真空 ≤1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C
  • TFH-1305:0-180 °C,±0.1 °C,真空 ≤1×10?? Pa,5 年壽命

二、核心技術參數(TFH-1305)

表格
復制
項目參數
原理氟龍加熱(PTFE + PFA)
溫度范圍0 – 180 °C(全范圍)
精度±0.1 °C(±0.1 °C,PID)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置泵)
接觸材料PTFE + PFA(無顆粒,Class 100)
真空接口NW16(可轉 NW25/NW40)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量200×150×45 mm,1.9 kg
壽命5 年(連續運行)

三、功能亮點

  1. 0-180 °C 全溫度:氟龍加熱,全溫度精度 ±0.1 °C
  2. ±0.1 °C 超高精度:PID 閉環,±0.1 °C 超高精度
  3. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
  4. PTFE + PFA 高清潔:無顆粒,Class 100 高清潔
  5. 1.9 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用
  6. 5 年壽命:氟龍無磨損,5 年免維護

四、典型應用系統

復制
半導體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│               │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│               │└─ 回大氣 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa,0-180 °C,±0.1 °C 精度
  • RS-485 實時輸出,PLC 閉環控制

五、實測數據(半導體驗證)

  • 真空:1×10?? Pa,25 ℃
  • TFH-1305:
    • 溫度 180 °C(±0.1 °C)
    • 真空度 ≤ 1×10?? Pa(全范圍)
    • 壽命 5 年(連續運行)

六、選型與配件

表格
復制
件號說明
TFH-1305-STD標準型(NW16)
TFH-1305-PIDPID 控制器(可選)
TFH-1305-PT100PT100 傳感器(標準)
TFH-1305-RS485RS-485 輸出(標準)

七、維護與可靠性

  • 氟龍:5 年壽命,免維護
  • PT100:年漂移 < 0.1 %,無需校準



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