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產品資料
首頁 >>> 產品中心 >>> 儀器儀表 >>> 高斯計 >>> F71高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

產品名稱: 高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計
產品型號: F71
產品特點: 高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計
半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計 的詳細介紹

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

  • 半導體制造應用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
  • 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
  • F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命
半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

  • 半導體制造應用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
  • 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
  • F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

二、核心技術參數（F71）

表格
復制
項目參數
測量范圍0.1 mG – 35 T（全范圍）
精度0.01 %（0.01 % RDG）
分辨率0.1 mG（0.1 mG，16 bit）
采樣率1 MHz（1 MHz，實時）
頻率范圍DC – 50 kHz（AC 磁場）
溫度系數< 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃）
探頭接口BNC + USB + RS-485（實時）
真空兼容≤ 1×10?? Pa（真空版探頭）
電源DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量200×150×45 mm，2.1 kg
壽命5 年（探頭 + 主機）

三、功能亮點

  1. 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場到 35 T 全范圍，半導體磁場全覆蓋
  2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場重復性 ≤ 0.01 mG
  3. 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實時采樣，適合快速磁場變化
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
  5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用


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